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micro droplet

Micro Droplet technology

不局限于现在的技术,我们积极研发新的技术,获得更好的成果。

Micro Droplet Platform Technology

近来,微型滴液生成技术正广泛应用于化学,医药,制药,电子工学等多方面产业。数十年期间,微型滴液生成技术应用在异流喷雾,喷墨打印,喷雾镀膜及定量注入等方面。
但是,基本的微型滴液生成技术在滴液的大小和分布速度方面存在着一定的缺点。异流喷雾方式喷出滴液的直径和速度具有20%的偏差。滴液存在于数微米至数百微米的范围内。
但是异流喷雾方式会导致滴液散布更广,导致滴液产量更多。另一方面喷墨方式喷出的滴液范围十分小,滴液速度相比异流喷雾方式较慢。
华新HI-TECH的微型滴液生成技术相比基本的滴液生成技术的直径较小,速度较快,能够短时间内喷出。如下表所示,华新HI-TECH拥有世界上唯一在滴液技术上偏差在2%以内的技术。
至今为止,只有华新HI-TECH能够实现如此高超的技术。下方照片是高速照相机拍摄的细微滴液,充分展现了它的特性。

能够看到与流动液体相近的速度。扩大拍摄的话,能够看到细微滴液的连续运动。

Micro Droplet Generation System

华新HI-TECH的滴液生成系统是利用细微加工技术制作成的喷嘴主体,供给液体系统及测量软件构成的。
液体供给系统如下图所示,由高压定量泵,阀门,压力标尺,流量计构成。整体系统由泵电机和序列测量软件驱动。
高速版本中利用了特殊的可视技术,可实时测量滴液的直径及速度。

华新HI-TECH向顾客提供包括喷嘴主体,液体供给装置,测定装置的细微滴液生成系统。
如上图所示,喷嘴是由喷嘴主体,电压推动器及超声波发声装置构成。喷嘴主体能够利用Nano激光通过5mm至50mm不等大小的数百个微细洞进行加工。
喷嘴主体可利用陶瓷类,工程塑料,及金属类进行生产。
喷嘴利用超声波发声器传达1MHz以上的信号,通过电压推动器震动,可每秒发射数万个以上的滴液。

以下照片展示的是超声波发声器及细微喷嘴。


Semiconductor Wafer Cleaning

华新HI-TECH的细微滴液生成系统自2014年以后,设置于三星系统LSI 14nm以下的高端细微工艺用清洁设备。基本原理如下图所示,
是使滴液在覆盖于晶片的液体薄膜上发生撞击,利用撞击所产生的波动,去除污染粒子。通过华新HI-TECH的系统生产的滴液,不会对样本造成伤害,
可有效去除附着在20nm以下的样本上的数十nm的污染粒子。
现在,半导体细微工艺竞争激烈,异流喷雾清洁系统正在快速地被华新HI-TECH细微滴液生成系统快速取代。


Precision Dispensing Coating

华新HI-TECH的滴液生成系统可适用于电子产业的精密镀膜系统。并利用了数年的时间进行了有关于聚合物太阳电池和CNT蒸镀的有机膜镀膜研究。
有机薄膜是将有机滴液进行喷液处理,覆盖需镀膜部位形成的。若想要获得均一厚度的薄膜,需精密地测量喷射速度,高度及流速等变数。
但是,如下图中的喷嘴分布是十分难的,在获得均一薄膜厚度上有一定的难度。
即使在这种情况下,华新HI-TECH的滴液生成技术也能够调节2%的范围以内的滴液直径和速度的散播,因此可以充分地代替喷雾镀膜技术。

Emulsion

感光乳剂是用于制药及化妆品产业等,传达药理物质或机能性物质的核心技术。
如下图所示,是由微型油体芯片部分将两种液体混合后,生成固定大小的感光乳剂的技术。但是,微型油体系统生产感光乳剂的速度是每分钟数十微升,并不符合大量生产技术。
若是利用华新HI-TECH的技术,最大可生产100cc/min的感光剂, 这是既存的微型油体系统内生产的感光剂的1000倍。

Spraying Suspension Polymerization Process

(Magnetic Bead Production)

磁性高分子细微磁珠适用于细胞分离,蛋白质分离及提炼等生物学诊断,人体工学方面。
悬浮聚合能够大量生产磁性高分子磁珠,是一种高效率方法。一般油性滴液由机器搅拌进行分散。但是利用机器进行搅拌的磁性高分子磁珠的大小及磁铁含量均衡不一,
产品质量降低。华新HI-TECH的微型油体系统所生产的磁性高分子磁珠具有统一的大小及磁铁含量。
通过这种新型制造工艺,能够大量生产高品质的磁性高分子磁珠,灵活运用于各方面。