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华新HI-TECH致力于生产值得信赖和品质一流的产品。

SPIN HEAD CHUCK

开发并生产运用在以Silicon Wafer的Etching, Cleaning, Rinse, Drying为目的的精密清洁设备上的,固定晶片的spin head chuck。

为了进行表面及内面处理而灵活运用在300mm, 200mm等多种工艺中。主要客户公司大部分都安置于Cleaning设备,根据客户公司的主要化学用品及工艺,我们拥有十多种Spin Head Chuck产品。(PVC, PTFE,PEEK等多种材料),根据使用的设备,可为顾客设计新的Chuck及材料。

POROUS CHUCK

生产及开发以Grinding, Dicing Saw为目的的设备上,固定Wafer用的Porous Chuck。

通过加工多种Porous Ceramic,大量生产Vacuum chuck,还运用于医疗设备及Pick up Tool等。可测量加工率及尺寸,根据设备的不同,可进行新的Chuck设置及材料开发。

MICRO NOZZLE

生产及开发300mm Silicon Wafer, 用于以Etching, Cleaning, Rinse, Drying为目的的精密清洁(Cleaning)设备上的Micro Nozzle。

针对半导体生产工艺中产生的多种杂质(尤其是Si Dust掺杂),灵活运用细微滴液去除杂质的新技术。主要安装于20纳米以下的Cleaning设备,根据设备及使用目的,具有10多种喷嘴。根据使用设备的不同,可为客户公司进行设置及开发Nozzle产品。






Bio/Optical Components

华新HI-TECH掌握加工及结合玻璃,石英,和蓝宝石的技术。华新HI-TECH满足在生物医学及化学产业内使用的光学测定设备的要求,并通过优质高校在发展成为一家精密光学配件生产企业。

一般情况下, 光学/生物设备配件的制造工序是由光学打磨, 高温扩散连接,配件清洁组成一段工序。华新HI-TECH的两个核心技术是100nm内的光学材料表面打磨及连接技术用原子扩散方式。连接技术,通过原子扩散方式,不费另外的黏接剂。因此,华新HI-TECH的产品基本能够抵抗热和化学物质。微型加工工序是只华新HI-TECH一家企业拥有的核心技术。 通过铣床加工,制造数百微米幅度和深度的微型通道。而且,特殊微型钻床加工技术利用于微型直径的 微细洞加工。进而,通过激光钻床及毫微秒激光光源,50mm以下微细洞进行加工。华新HI-TECH拥有激光钻床技术。一般石英和蓝宝石加工情况下,能大量生产污染粒子。这种污染粒子可能降低产品的光学品质,因此为防止品质问题十分重要管理清洁度。华新HI-TECH已经成立了SC1及KOH测碱剂的清洁工序,能够有效地排除污染粒子贴着微型通道及微细洞。

华新HI-TECH拥有一总系统,能够生产优质光学/生物设备的配件。

Bio/Optical Components

与光学相结合的蓝宝石cell能够抵抗强酸强碱环境。

一般情况下,机器/热性质相异,使用単结晶蓝宝石生产立体构造是较为困难的。単结晶蓝宝石的板片与光学相符合,所以能够生产多种产品。将结晶方向相异的板片重新排列后在2400℃以下加工,令其相接。这时若无法将温度控制在最低,将导致结晶方向不一致,损坏产品。我公司数年间,通过大量实验,获得能够控制温度的工艺技术,左侧图片展示的是良好比例下多种形态的蓝宝石cell。

Cuvette

在光谱仪内使用的较小液体容器叫做CUVETTE(小试管)。分光光度计测定透射比或是反射率,并分析在试管内的液体的化学试验系统。

试管的材料不应妨碍光子的移动,由透射比较高的光学材料制成。试管表面通过光学打磨后,提高透射率的同时,降低反射率。为了降低表面的反射率,还应利用防止反射的材料进行镀膜。华新HI-TECH能够生产高透射率产品,抵挡用于光学打磨及连接时使用的可视光线,近紫外线波长。

Polarizing Beam Splitter (PBS)

PBS是使用于半导体及光子学装置等光学系统,分离光线,制造偏光的部件。

P型光通过PBS材料,S型光从PBS接触面反射并分离。偏光的品质决定于材料的透射率及表面照度,两个棱镜的接触面特性最能够影响偏光的品质。华新HI-TECH利用高品质的表面打磨及清洁技术,为您提供优质的接触面。

Flow CELL

流动细胞主要用于测试流动细胞系统。左侧照片展示的是典型的流动细胞的形态。

附着荧光物质的生物细胞与离子水共同通过流动细胞路径,流动细胞测定系统能够通过反射回来的激光测定细胞的大小和个数。光学流动细胞适用于激光血球测定仪及粒子测定仪等分析系统。华新HI-TECH的产品不使用粘合剂,是通过光学方式制造的仪器,具有耐热,抗化学性。

Lab on a chip (LOC)

LOC适用于DNA电气泳动,微量试样检测及医疗诊断。

一般情况下,根据微型加工及微型电子器械系统(MEMS)技术,微型通道由上极板及下极板相接制成。现在市场中存在的是如左上图所示的主要由玻璃和PMMA材料制成。

玻璃LOC历来是利用MEMS工艺,在强酸下雕刻玻璃晶片。玻璃的雕刻强度(10MPa)仅为石英(100MPa)的1/10,能够承受的液体压力较低,流量仅为每分钟数十微升。PMMA材料虽然是为了固定微型压模,但耐热性较差,使用上有一定的限制。相反,石英LOC能够承受数MPa的高压,每分钟达到数cc的流量。华新HI-TECH能够生产如左下图展示的石英材料的LOC。微型上极板及下极板通过光学打磨技术,热扩散强度与粒状材料一致。华新HI-TECH生产的LOC每分钟能够达到数cc的流量,根据顾客的要求可开发新型解决方案。