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生産製品

Auto Damper

ユーザーが設定した排気圧を精度±1%FSの高精度圧力センサーが感知して、自動的に排気圧を管理する装置です。プロセスを適用したチャンバーとBath内部の最適条件を維持し、周囲の環境の変化に起因した設備のエラーを減少させ、設備の正常稼働率を向上させます。

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