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生産製品

Nozzle

(株)HSハイテックが生産するMicro Droplet NozzleはDevice node20nmのParticleを除去できる半導体洗浄装置の最先端のソリューションです。2014年に最初の製品を発売して以来、現在までに数百セット以上の製品を国内有数の機器製造企業に供給しています。

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Production Reference

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Specifications Quartz Nozzle PEEK Nozzle
Prototype Quartz
Nozzle A
Quartz
Nozzle B
Quartz
Nozzle C
Hole Size

6㎛ ~ 18㎛ (Spec. Range Customizing)

Droplet Size

14㎛ ~ 30㎛

二流体ノズルとマイクロドロップネットノズル比較

  • Twin Fluidic Nozzle

    Twin Fluidic Nozzle

    原理

    二流体(DIW+ N2)ノズルを用いた物理的な洗浄 - 気体の圧力を利用して液滴に粉砕

    液滴サイズに影響を与える要素

    ノズル型、流速、気体の圧力

    特徴

    - 液滴の散布拡大
    - 大量の液滴生成可能
    - 標準偏差20%前後液滴の直径と速度制御
    - 一定の液滴サイズの速度制御不可
    - いくつかの大きなサイズの粒子によりウエハーのダメージ発生あり

  • Mocro Droplet Nozzle (HS HI-TECH)

    Mocro Droplet Nozzle (HS HI-TECH)

    原理

    二流体(DIW)ノズルを用いた物理的な洗浄 - 微細Holeから噴射される液体の幹にピエゾ素子振動機が振動を加え、一定の大きさの速度を調節

    液滴サイズに影響を与える要素

    ノズル穴サイズ、流速、振動周波数

    特徴

    - 標準偏差の2%以内の液滴の直径と速度の制御が可能
    - 粒子サイズを多種に制御してパーティクル除去力向上

活用分野

㈱HSハイテックのマイクロドロップネットノズルは、半導体洗浄の分野だけでなく、電子、製薬、バイオテクノロジーなど、さまざまな産業分野に適用できます。

Precision Dispensing Coating

Precision Dispensing Coating

均一なサブマイクロメートルの厚さの薄膜生成

ノズル速度、高さ、流速などの変数精度制御が可能

2%以内の液滴直径と速度のばらつき程度を制御可能

Emulsion

Emulsion

薬理物質または機能性物質を伝達するときに使用する重要な技術

最大100cc/ minの大量エマルジョン生産(既存のマイクロ流体システムの1000倍)

Spraying Suspension Polymerization Process

Spraying Suspension Polymerization Process

磁性を帯びる高分子微細ビーズの大量生産が可能

均一な大きさと一定の磁鉄含有量を保持

高品質の磁性を帯びる高分子ビーズの大量生産が可能

Wet-clean System : HPU System

流体に関する学術研究、精密分配、コーティング、噴霧総合、マイクロ流体工学など様々な研究分野に適用が可能であり、ソウル大学をはじめ主要大学に供給されています。

顧客の要求に応じたシステム全体のカスタマイズ可能

有機化学物質の直径数十マイクロメートルの特定ドロップレットを提供

数百マイクロリットルの高速流量化学物質のディスペンシングが可能

システム 構成

Process chamber

- Micro Droplet Nozzle
- Nozzle Arm
- Motion Motor (Z-axis)

Chemical Supply System

- Metering Pump
- Micro Filtration Parts

Electrical & Control Module

- Ultrasonic Generator
- Flow and Motion Controller

Control Software

Electrical Control Module

Process Chamber

Chemical Supply System

Micro Droplet Nozzle

Process Chamber

Chemical

Figs 9. HS-HITECH Micro droplet Nozzle HPU system