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生産製品

Spin-chuck (Wet Clean)

ウェハーのEtching、Cleaning、Rinse、Dryingを目的とする、
Wet Clean 機器のウエハー固定用のスピンチャックを開発/製造しています。
表面および裏面処理のために活用され、300mm、200mm の様々な
工程に適用されています。お客様の主な薬液や使用機器に応じ、
様々な素材を活用したカスタマイズ素材と新規チャックの
開発が可能です。

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Production upon customer demand

HS R&D Center

10年以上の半導体洗浄装置業界のノウハウを保持

設計、試験、加工、組立、品質、納期まで、In-House工程進行

  • OEM

    Global Top Leading
    半導体装置社の洗浄装置の核心部品を
    OEM生産して納品しています。

  • ODM

    半導体洗浄装置の分野で蓄積された
    OEM生産ノウハウと技術力を基に
    ODM生産して納品しています。

  • Reverse Engineering

    独自の成分分析と逆開発能力に基づき、
    スピンチャックのメンテナンスが可能です。

Production Reference

Operational Method

Gear-Ball Screw Deriving

Service Temp

45℃ ~ 220℃

Base Material

Engineering Plastic (PEEK, PVC, etc.)
非鉄類 (AL, SUS, etc.)

Chemical

HF, SC1, SPM, LPSPM, DSP, DHF, LAL, POLY, T-dryer, ESC(有機化学), O3HF, O3DIW