CHINESE CN
Nozzle
(株)HS HI-TECH生产的 Micro Droplet Nozzle是可以去除Device node 20nm
Particle的半导体清洗设备的先进解决方案。2014年第一次推出以来，已经向国内屈指可数的设备制造企业供应了数百套以上的产品。
Production Reference
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比较二流体喷嘴和微滴喷嘴
-
Twin Fluidic Nozzle
原理利用二流体（DIW+N2） 喷嘴实现物理清洗 – 利用气体压力粉碎为液滴
影响液滴尺寸的因素喷嘴类型、流速、气体压力
特点- 扩大液滴的分散
- 可生成大量液滴
- 液滴直径和速度标准偏差控制在20%以内
- 不可控制均匀的液滴尺寸和速度
- 因一部分大尺寸粒子，发生晶圆损伤 -
Mocro Droplet Nozzle (HS HI-TECH)
原理利用二流体（DIW）喷嘴实现物理清洗 - 压电元件振动器向微细槽喷射的液体加振动，
调整为均匀的尺寸和速度影响液滴尺寸的因素喷嘴口尺寸、流速、振动频率
特点- 液滴直径和速度标准偏差控制在2%以内
- 以多种类型控制粒子尺寸，提高碎料去除能力
应用领域
(株)HS HI-TECH的微滴喷管除了半导体清洗领域以外，还能应用于电子、制药及生物工程学等的多种领域。
Precision Dispensing Coating
产生亚微米厚度的均匀薄膜
可精密控制喷管速度、高度、流速等的变数
可控制2%以内的液滴直径和速度的精度
Emulsion
传递药理物质或功能性物质时使用的核心技术
最多生产100cc/min的大量乳剂（原有微流体系统的1,000倍）
Spraying Suspension Polymerization Process
可大量生产带有磁性的高分子微细珠子
拥有尺寸均匀的磁铁含量
可大量生产带有高质量磁性的高分子珠
Wet-clean System : HPU System
可适用于有关流体的学术研究、精密分配、涂层、喷雾、微细流体工程学等多种研究领域，并以首尔大学为开始供应到韩国的主要大学。
所有系统可按照客户的要求提供定制型
提供适合有机化学物质的直径舒适微米的微滴
可实现数百微升高速流量化学物质的配料
| 系统 | 构成 |
|---|---|
Process chamber |
- Micro Droplet Nozzle |
Chemical Supply System |
- Metering Pump |
Electrical & Control Module |
- Ultrasonic Generator |
Control Software |
|
Electrical Control Module
Process Chamber
Chemical Supply System
Micro Droplet Nozzle
Process Chamber
Chemical
Figs 9. HS-HITECH Micro droplet Nozzle HPU system