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生產產品

Auto Damper

是精度為±1%FS的精密壓力傳感器可檢測用戶設定的排氣壓力並自動管理排
氣壓力的裝置,用於維持採用過程的Chamber及Bath內部維持最佳條件,
減少周圍環境變化引起的設備誤差,從而提高設備正常運行率。

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