Auto Damper

是精度為±1％FS的精密壓力傳感器可檢測用戶設定的排氣壓力並自動管理排
氣壓力的裝置，用於維持採用過程的Chamber及Bath內部維持最佳條件,
減少周圍環境變化引起的設備誤差，從而提高設備正常運行率。