Production Reference

比較二流體噴嘴和微滴噴嘴

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  Twin Fluidic Nozzle

  原理

  利用二流體（DIW+N2） 噴嘴實現物理清洗 – 利用氣體壓力粉碎為液滴

  影響液滴尺寸的因素

  噴嘴類型、流速、氣體壓力

  特點

  - 擴大液滴的分散
  - 可生成大量液滴
  - 液滴直徑和速度標準偏差控制在20%以內
  - 不可控制均勻的液滴尺寸和速度
  - 因一部分大尺寸粒子，發生晶圓損傷

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  Mocro Droplet Nozzle (HS HI-TECH)

  原理

  利用二流體（DIW）噴嘴實現物理清洗 - 壓電元件振動器向微細槽噴射的液體加以振動，調整為均勻的尺寸和速度

  影響液滴尺寸的因素

  噴嘴口尺寸、流速、振動頻率

  特點

  - 液滴直徑和速度標準偏差控制在2%以內
  - 以多種類型控制粒子尺寸，提高碎料去除能力

應用領域

(株)HS HI-TECH的微滴噴管除了半導體清洗領域以外，還能應用於電子、製藥及生物工程學等的多種領域。

Precision Dispensing Coating

產生亞微米厚度的均勻薄膜

可精密控制噴管速度、高度、流速等的變數

可控制2%以內的液滴直徑和速度的精度

Emulsion

傳遞藥理物質或功能性物質時使用的核心技術

最多生產100cc/min的大量乳劑（原有微流體系統的1,000倍）

Spraying Suspension Polymerization Process

可大量生產帶有磁性的高分子微細珠子

擁有尺寸均勻的磁鐵含量

可大量生產帶有高質量磁性的高分子珠

Wet-clean System : HPU System

可適用於有關流體的學術研究、精密分配、塗層、噴霧、微細流體工程學等多種研究領域，並以首爾大學為開始供應到韓國的主要大學。

Electrical Control Module

Process Chamber

Chemical Supply System

Micro Droplet Nozzle

Process Chamber

Chemical

Figs 9. HS-HITECH Micro droplet Nozzle HPU system