배기시스템

사용자가 설정한 배기압을 정확도 ±1% FS의 정밀 압력 센서가 감지하여
자동으로 배기압을 관리합니다. Process를 적용하는
Chamber 및 Bath의 최적조건을 유지하고, 주변환경 변화에 기인한
설비 에러를 감소시켜 설비 가동률을 향상시킵니다.

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